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請(qǐng)問(wèn)透平真空機(jī)的原理?是不是屬于分子泵的一種?能不能介紹一下其性能特征?

請(qǐng)問(wèn)透平真空機(jī)的原理?是不是屬于分子泵的一種?能不能介紹一下其性能特征?
時(shí)間:2014-09-09
原理有類似之處,都是拿高速旋轉(zhuǎn)的葉片排除氣體分子已達(dá)到真空。

原理有類似之處,都是拿高速旋轉(zhuǎn)的葉片排除氣體分子已達(dá)到真空。透平真空機(jī)可以看成是有多種真空泵組成的泵組。抽速比較大,但真空度比較低:抽氣速率(150~20000L/S)和真空度(0.099MPa)。而分子泵的真空度可以到達(dá)10-6Pa,抽速可以10L/S~3500L/S。但分鐘泵必須配合前幾泵使用

真空泵1

分子泵可以達(dá)到10-8Pa,抽速可以達(dá)到4000L/S,分子泵配合前級(jí)泵使用。

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